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大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
活性炭吸附设备中的活性炭是一种以固体形式在自然界中存在的化学物质，其本身的物理特性比较直观的就是多微孔设计，这种孔隙结构，不仅让活性炭的性状变的很松散，质量很轻，而且还能够具备比较不错的吸湿效果。活性碳吸附废气处理设备主要使用活性吸附装置对废气中的有机废气、粉尘进行过滤、吸附从而达到净化有机废气和除尘的效果，吸附装置是比较传统的一种废气处理方法工业废气中很多污染物的出现，主要原因就在于没有充分燃烧工业原料。而催化燃烧法将特定的催化剂运用过来，可以更加充分的燃烧废气，消除掉有毒有害物质，避免污染到大气环境。本种技术难以有效回收利用污染物，经济效益较差。
哪些地方适用于废气处理设备呢？像涂装厂、食品厂、橡胶厂、化工厂、电子厂、印刷厂、喷漆车间、塑料厂、镀锌车间、涂料厂、石化行业等产生粉尘，异味，的场所，都会产生工业废气，都需要进行废气、粉尘或者的处理。废气处理装置蓄热与燃烧设备:分为二室、三室或多室蓄热与燃烧设备。通常采用耐高温的陶瓷材料作为蓄热体。UV光氧催化设备:当光的能量足够打破有机废气分子中的化学键时，只有激发能大于化学键能，这两个条件才能满足，化学键分解反应就会发生。
有机废气处理装置过滤或除尘器:含尘气体进入除尘斗后，由于气流截面的突然膨胀和气流分布板的作用，在动力和惯性力的作用下，气流中的一部分粗颗粒沉降在除尘斗内;尘粒与细粒度和小密度进入除尘器,和灰尘沉积在过滤材料的表面通过布朗扩散和筛滤的联合行动,以净化气体进入空气清洁室,这是通过风机由排气管排出。低温等离子体净化设备:等离子体将电子电离转化为带电离子，即正离子和负离子。对有机废气及其他刺激性气味有明显的去除效果。变压吸附分离净化废气处理设备，该设备是通过气体成分可吸附在固体材料上的特性，改变气体的压力，让废气处于分离净化装置中，通过压力变化完成气体的吸附、分离、净化处理。
